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安全信息

667471

Sigma-Aldrich

各向异性硅 <100> 蚀刻剂

别名:

Preferential Silicon Etchant, Silicon 100 Etch, Silicon Preferential Etch

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About This Item

MDL编号:
MFCD08705341
UNSPSC代码:
12161700
NACRES:
NA.23

折射率

n20/D 1.484

沸点

>240 °C

密度

1.001 g/mL at 25 °C

一般描述

基于乙二胺 - 适于 < 100 > 晶向

应用

蚀刻速率：100°C 下 ~80 微米/小时。只需去离子水冲洗即可蚀刻干净。不侵蚀金或钽。

警示用语：

Danger

危险分类

Acute Tox. 3 Dermal - Acute Tox. 4 Oral - Aquatic Chronic 3 - Carc. 1B - Eye Dam. 1 - Flam. Liq. 3 - Muta. 2 - Resp. Sens. 1 - Skin Corr. 1B - Skin Sens. 1

储存分类代码

3 - Flammable liquids

WGK

WGK 3

闪点(°F)

109.9 °F

闪点(°C)

43.3 °C

个人防护装备

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter

法规信息

危险化学品

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分析证书(COA)

Lot/Batch Number
MKBW4691V
MKBV1240V
MKBK0278V
MKBD2628
11603BE

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