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蒸汽压
14 mmHg ( 20 °C)
沸点
200 °C
mp
−35 °C
应用
为蒸镀薄膜蚀刻设计，在微电子学上常作为粘结层和阻挡层。极易达到良好的分辨率、光阻相容性和最小蚀刻底切。
特点和优势
在 20-50°C 用于聚乙烯储槽。
蚀刻速率
20°C 时 25Å/s，
30°C 时 50Å/s。
用 DI 水冲洗
蚀刻速率
20°C 时 25Å/s，
30°C 时 50Å/s。
用 DI 水冲洗
警示用语：
Danger
危险分类
Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Oral - Acute Tox. 3 Inhalation - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A
储存分类代码
6.1A - Combustible acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
WGK
WGK 2
闪点(°F)
Not applicable
闪点(°C)
Not applicable
个人防护装备
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter
法规信息
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