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Merck
CN
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文件

安全信息

667447

Sigma-Aldrich

陶瓷蚀刻剂 A

别名:

Al2O3 Etch, GaN Etch, Si3N4 Etch, 氧化铝蚀刻剂, 氮化硅蚀刻剂, 氮化镓蚀刻剂

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About This Item

MDL编号:
MFCD08705343
UNSPSC代码:
12352300
NACRES:
NA.23

应用

用于氮化硅 (Si3N4)、氮化镓 (GaN) 或氧化铝 (Al2O3) 的快速可控蚀刻。

特点和优势

180°C 下的蚀刻速率：
氧化铝 120Å/min
氮化硅 125Å/min
氮化镓 80Å/min
二氧化硅 1Å/min
硅 1Å/min

象形图

CorrosionExclamation mark
GHS05,GHS07

警示用语：

Danger

危险声明

H290,H302,H314

危险分类

Acute Tox. 4 Oral - Eye Dam. 1 - Met. Corr. 1 - Skin Corr. 1B

WGK

WGK 1

闪点(°F)

Not applicable

闪点(°C)

Not applicable

个人防护装备

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter

法规信息

危险化学品

分析证书(COA)

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