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等级
electronic grade
表单
gas (compressed)
浓度
10% in helium
9-11% (balance is helium)
沸点
−92.5 °C (lit.)
质量偏移
M+6
SMILES字符串
[2H]B([2H])[2H].[2H]B([2H])[2H]
InChI
1S/2BH3/h2*1H3/i2*1D3
InChI key
NTJHUEGHVSASEP-RVWRRERJSA-N
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应用
乙硼烷气体主要用作外延和非晶硅薄膜沉积的 p 型掺杂剂。乙硼烷-d6 独特的特性可提高设备性能和可靠性。
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建议使用不锈钢调节器 Z527416 或 Z527424。
警示用语：
Danger
危险分类
Acute Tox. 3 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Irrit. 2 - Flam. Gas 1A - Press. Gas Compr. Gas - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3
靶器官
Respiratory system
储存分类代码
2A - Gases
WGK
WGK 3
闪点(°F)
Not applicable
闪点(°C)
Not applicable
法规信息
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