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About This Item
线性分子式:
(SiCl3)2
CAS号:
分子量:
268.89
EC 号:
MDL编号:
UNSPSC代码:
12352103
PubChem化学物质编号:
NACRES:
NA.23
推荐产品
方案
96%
表单
liquid
折射率
n20/D 1.475 (lit.)
沸点
144-145.5 °C (lit.)
密度
1.562 g/mL at 25 °C (lit.)
SMILES字符串
Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl
InChI
1S/Cl6Si2/c1-7(2,3)8(4,5)6
InChI key
LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N
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一般描述
六氯乙硅烷（HCDS）是一种氯硅烷，可用作生产乙硅烷的前体。它是一种用于生产硅膜和氮化硅基膜的脱氧剂。
应用
HCDS可用于通过化学气相沉积（CVD）制备二氧化硅气凝胶，其有望用作封装剂和绝热体。它也可用于通过CVD合成1,1,1,2,2,2-六氨基乙硅烷，其可形成微电子应用的硅基薄膜。
HCDS可用作还原剂。它可以通过化学气相沉积（CVD）技术与氨结合形成氮化硅。
警示用语：
Danger
危险声明
危险分类
Skin Corr. 1B
补充剂危害
储存分类代码
8A - Combustible corrosive hazardous materials
WGK
WGK 3
闪点(°F)
Not applicable
闪点(°C)
Not applicable
个人防护装备
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter
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